SEMI S2 认证的技术文档需准备中英文版本，部分还需兼顾目标客户母语，具体类别及内容如下:
产品基础信息文档:含中英文客户信息;还有标注生产厂名、型号、电气规格、生产日期等内容的产品铭牌信息，清晰界定认证相关主体与产品基础属性。
产品说明类文档:包含用户手册，需涵盖设备工作原理、配电要求、化学品使用规范、维修保养流程、安全防护措施等;同时要有安装资料，涉及安装示意图、导线规格、辅助配件清单及场地环境要求等内容。
设备设计图纸类:涵盖电气原理图、系统整体结构图、气体与液体路径图、通风系统工程图等，还需配套界面操作指南完整呈现设备构造与运行相关的核心设计细节。
物料与配套清单类:包含系统材料清单、关键元器件清单;同时需准备环境相关资料，比如设备能量消耗描述、化学微小泄漏的监测及处理方案，还有废气排放监测与处理方法建议;另外 Interlock 清单也必不可少，明确设备安全联锁相关部件信息。
评估与测试类文档:需提供按 SEMI S10 标准制定的风险评估报告，要量化分析危害等级;还要准备原型机测试数据，至少包含 72 小时连续运行记录，同时附上关键零部件的安全证书等材料。
安全警示相关文档:包括符合 SEMI S1 标准的警示标签设计文件，需清晰标注设备各类风险点的警示标识，保障操作人员能快速识别危险。