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SEMIS2认证详情介绍

发布日期:2025-12-19 10:47:01

SEMIS2认证详情介绍

 

SEMIS2 是半导体设备环境、健康和安全领域的基础通用核心认证,1991 年发布后经多次修订,2018 年更新至 S20818E 版本,更是设备进入全球主流半导体供应链的关键门槛,以下是其核心信息:
 
核心定位:该认证制定了半导体制造设备的Zui低安全要求,初衷是解决设备制造商需重复适配不同芯片厂商安全规范的问题,如今适配 5nm 及以下先进制程设备需求,成为行业设备采购、验收和使用的通用安全准则,覆盖设备全生命周期安全管控。
 
适用范围:适用对象包括光刻机、刻蚀机等半导体制造设备的生产商、零部件供应商,以及晶圆厂等终端用户;适配设备类型极广,像离子注入机、CVD 设备、化学分配系统、工业激光器等半导体制造相关设备均在此列。
 
核心认证内容:覆盖多维度安全要求,电气上需满足绝缘、接地及防漏电标准;机械上要做好运动部件防护并保证急停装置有效:化学上需防控化学品泄漏并配备气体监测与通风系统:还包含激光等辐射管控、防震、噪音控制、防火措施等多领域安全要求。
 
认证关键要点:申请需准备中英文产品说明书、电气原理图、关键元器件清单等资料;现场测试需提前2 周预约,测试后一周内会收到不符合项通知,整改达标并完成文件完善后,2 周左右可获证书;若后续标准无更新,证书通常长期有效。
 
行业核心价值:台积电、中芯国际等国内外大厂均将其列为设备采购必备条件。通过认证既能大幅降低高压、强辐射等高危因素引发的生产事故,还能与欧盟 CE 等互认,助力国产设备打入国际市场。

文章关键词:SEMIS2认证