SEMI S2 认证的物料与配套清单核心是围绕设备核心构成、安全部件及配套辅助相关物料展开，同时需搭配对应合规证明材料，具体明细如下:
核心物料清单:包含系统材料清单，需列明设备主体结构所用各类材料，像具备阻燃等级的塑料、金属结构件等，还要标注材料的难燃性等级及使用位置:另有关键元器件清单，涵盖电源模块、传感器、接触器、过流/过压保护装置等，且需附上这些元器件对应的 UL、NRTL 等合规安全证书。
化学相关配套清单:涉及设备运行中用到的特气、工艺化学品等物料的清单，需标注各类化学物质的种类和用量;同时必须配套材料安全数据表(MSDS)，明确化学物质的危害特性与防护措施，该清单及数据表均需准备英文版。
安全联锁与防护部件清单:也就是 Interlock 清单，要详细列出设备的安全联锁装置，比如门联锁、辐射防护联锁等部件的型号、安装位置及功能说明;此外还包括激光防护件、辐射屏蔽装置、高温隔热部件等防护物料，若设备含激光部件，还需附上激光参数数据表。
辅助与环境配套清单:涵盖设备运行所需的辅助配件，如导气管、密封件、冷却系统部件等;同时包含废气处理装置、化学泄漏监测传感器等环境适配物料，需说明这些物料对微小泄漏的监测方式及废气处理的县体方案。
其他配套物料及证明清单:包含设备配备的灭火器、紧急停机按钮等应急物料;还有抗震相关配件的清单及抗震设计计算资料，以及设备噪音、辐射等测试相关的配套辅助物料，同时需附上对应的测试报告以佐证物料合规性。
SEMIS2 认证并未在通用标准中明确规定物料与配套清单的固定准备份数，具体份数主要根据认证机构要求、企业内部存档及客户需求来确定，常规准备方式如下:
提交认证机构:通常需提交1份电子版+1-2 份纸质版中英文清单。纸质版多用于现场审核留档，电子版方便机构后续归档与查阅，像 UL、DEKRA 等授权机构均是以此方式接收相关材料。
企业内部存档:建议留存2份纸质版和至少1份电子版。一份用干研发及生产部门日常查阅核对，另一份作为认证档率长期留存，便于后续设备迭代、整改复评时调取参考。
适配客户需求:若目标客户有特殊要求，需额外准备对应份数。因为清单需兼顾目标客户母语，可随认证证书一同提供给客户，满足其采购验收和后续设备维护的需求。