SEMI S2 认证里的设备 72 小时连续运行测试，是验证设备稳定性与安全性的核心测试项目，相关要求和注意事项如下:
测试状态:多要求以满载工况开展测试，贴合设备实际生产中的运行负荷，像上银科技的晶圆料盒装卸机，出厂前就会经72 小时满载运行测试。这能全面排査设备在高负荷下，电气系统、机械传动、工艺控制等核心部件的潜在问题。
核心合格指标:测试雲满足故障率<0.1% 的硬性要求。期间要记录设备是否出现停机、参数漂移、部件故障等异常，像真空镀膜设备的真空度波动、电源电压不稳定等情况都需纳入统计，任何影响生产安全或工艺稳定性的故障都需记录并分析原因。
数据记录要求:测试过程中需完整留存各类关键数据，比如设备运行参数、部件温度、安全联锁响应情况等。这些记录要作为原型机测试核心数据，和风险评估报告等一同提交给认证机构，是文件审核和现场评估的重要依据。
与后续流程关联:若测试中出现不达标项，企业需先排査故障根源，整改后重新开展测试，直至符合标准。该测试通过后，才能顺利推进认证的整改复评、证书签发等后续环节。